是净化系统必备的部件，净化设备在早期就已经发展，然而FFU停滞不前！

FFU在很长的时间没有得到广泛的发展呢？究其原因：

1.压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；

2.噪声较大问题；

3.维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。

以上三大原因正是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

1984年通过研究发展。

1.随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。

2.首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，符合工业厂房的标准。

3.较后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。

科技没有止步，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。给FFU带来契机，FFU系统越来越稳定，有了自身的优势特点：

1、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

2、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。

3．节约空间。相比较RCU+HEPA系统，FFU+DCC+MAU系统占用送风静压箱内较少层高，且基本不占用洁净室内空间。而RCU不论是吊挂在天板上方还是设置在洁净室，均占用不少空间。

4．灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

5．可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

6．负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。